螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

　　各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。
 

　　干式螺杆真空泵由于其*的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。

　　拆卸步骤：

　　1.未拆卸前，先测量并记录转子各部分间隙。

　　2.尽量避免用重锤敲打，拆下的零件不得碰伤，妥善保管好。

　　3.真空泵与电机脱离，排空介质(防止电机、有毒介质伤人);

　　4.拆卸真空泵排出体;

　　5.拆卸真空泵定子，必要时按泵轴方向盘动轴作辅助;

　　6.拆卸转子及中间轴;

　　7.拆卸传动轴和轴封;

　　8.取出真空泵轴承、定位套，应从轴承座内取出;将需要更换的零部件的更换原因及使用情况详细记录下来。

　　9.长期不用时，要作防锈处理，方法为用防锈脂涂抹非油漆金属表面，包括轴表面、填料壳体内腔等，并进行润滑。