罗茨真空泵包含用于低真空的直排大气型罗茨真空泵，以及用于中高真空的机械增压泵与多级罗茨真空泵。为了实现在常压下启动，直排大气型真空泵在结构上牺牲了真空度，通过加大转子间隙、改变转子结构、加强冷却等方式实现在高压差下运转(多级罗茨泵则通过多级转子串联实现高压差运转)。
 

　　而我们会常用到的中高真空罗茨真空泵(机械增压泵)，为了保证真空度与抽气效率，不会采用上述的改变。如强行直排大气，会造成罗茨真空泵的吸气口与排气口压差太大，从而使真空泵过载，无法工作。此时，如果加大真空泵电机功率，热量增加，则会造成真空泵转子过热无法散去，而壳体散热较快，之间形成高温差，以致于真空泵转子热膨胀加速，它们之间以及与泵腔的间隙消失，进而卡死。
 

　　因此为保证真空泵能达到较高真空度，需保证真空泵转子及与泵腔之间的间隙。所以大部分中高真空真空泵使用时必须配备前级泵，利用前级泵将系统内压力抽至一定范围，再启动真空泵，保证合理范围内的出入口压差，这样就可以避免真空泵因高压差而导致过载。
 

　　罗茨真空泵的前级泵，以前可以选用水环真空泵、油封式真空泵以及往复式真空泵等可直排大气的真空泵。干式无油真空泵出现后，则可与真空泵组合形成宽范围、大抽速的清洁无油真空系统，实现以往传统泵种难以实现的清洁真空环境。